主動式減振系統
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商品資訊
產品定位
本系統採用線性馬達驅動與即時感測回饋技術，專為解決被動式氣壓避震無法抑制的 1 Hz 以下超低頻擾動，以及設備自身動態力（如平台加減速、馬達與風扇振源）導致的精密定位干擾。
應用場合
- 半導體曝光製程設備（Lithography）之精密定位補償
- 電子顯微鏡（SEM/TEM）及原子力顯微鏡（AFM）之超低頻影像穩定
- 高解析度自動光學檢測（AOI）設備之高速運動抑振
- 晶圓探針台（Wafer Prober）與奈米級量測系統
- 雷射干涉儀與精密三次元量測儀（CMM）之震動基準控制
- 極端精密製造中需符合 ISO 230-2 工具機定位精度測試之環境
規格
本產品為德國 Fabreeka® 原廠生產，羽昌科技為台灣地區總代理，供應範圍僅限台灣地區。
項目 技術參數 驅動機構 線性馬達 (Linear Motor) 減振機制 主動式感測、處理與回饋抑制 低頻處理能力 可處理 1 Hz 以下之超低頻擾動 振源補償範圍 包含地面傳遞之震動及設備上方之動態振源 品牌來源 德國 Fabreeka® (代理商：羽昌科技) 材質與選項
系統可整合精密花崗石結構件作為基座，加工精度參照 DIN 876 或 GB/T 20428 標準，平面度最高加工能力為 0.015 mm。針對半導體與無塵室環境，部分組件之表面處理（如濺鍍、蒸鍍製程）委外辦理，可確保材料符合 IEC 61340-2-3 防靜電阻值規範，阻值範圍穩定維持於 $10^5 sim 10^9$ 歐姆。所有產品出廠均可依需求提供第三方公正單位量測報告。
詢價須提供資料
請提供設備總負載重量、重心座標分布圖（含移動件行程長度）、目標樓地板振動準則（VC-curve），並附上安裝空間尺寸圖面與期望交期。
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商品Q&A