德製氣壓式避震器-PAL系列
商品圖像
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商品資訊
產品定位
德國 Fabreeka PAL 系列為具備快速自動調控水平功能（Fast Automatic Leveling）的氣壓式避震器，專門解決精密設備因環境振源（Floor Vibration）導入或機台運動慣性所導致的動態水平失準與微擾動問題。
應用場合
- 半導體黃光區曝光設備與晶圓檢測機台隔振。
- 高倍率電子顯微鏡（SEM/TEM）及精密光學實驗平台。
- 三次元座標測量儀（CMM）之底座支撐，維持量測重複性（Repeatability）。
- 精密加工中心機之振動隔離，確保符合 ISO 230-2 定位精度要求。
- AOI 自動光學檢測系統中，針對高速移動載台之殘餘振動快速衰減。
規格
項目 描述 / 規格內容 品牌 德國 Fabreeka 產品系列 PAL 系列 功能 氣壓式自動調控水平（Fast Automatic Leveling） 特性 提供持續性且不間斷自動調整，於動態或靜態中維持水平 減振效果 針對環境晃動與震源導入可快速減振與維持水平 備註 詳細載重與頻率特性需依選型計算而定 材質與選項
- 來源說明： 本產品由德國 Fabreeka 生產製造，羽昌科技為授權代理商（供應服務範圍僅限台灣地區）。
- 控制選件： 可選配高靈敏度機械式控制閥或數位電子式自動調平系統，以對應不同動態載重之恢復速度需求。
- 環境對應： 針對無塵室或靜電敏感環境，可提供符合 IEC 61340-2-3 標準之抗靜電處理選項，表面電阻值範圍受控於 10⁵~10⁹ 歐姆。
- 整合結構： 若需搭配花崗石基座，羽昌可提供符合 DIN 876 或 GB/T 20428 等級之加工，平面度最高能力達 0.015 mm。
詢價須提供資料
詢價請提供設備總重量（含動態負載變化）、重心配置座標圖面、目標自然頻率要求、安裝空間尺寸限制及所需數量與交期。
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商品Q&A