微氣孔陶瓷真空吸盤
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商品資訊
產品詳細說明
陶瓷真空吸盤簡介：
以花崗石、金屬、陶瓷為底座，加上微氣孔陶瓷板配合氣流道的設計並給予負壓，即可成為吸附固定電路版、半導體晶圓片、面板加工的真空吸盤。多孔質陶瓷的孔洞非常細微，陶瓷板平面度亦可加工至5μ以下，對於超精度加工件表面貼合於真空吸盤時，不會因為負壓而造成表面的刮傷、凹陷或受損。
超大型加工件：
以花崗石結構件為底座配合陶瓷板，利用陶瓷板拼接方式可以做到4米平方以上大型加工件。
特性：
可部份吸附、抗腐蝕、耐耗磨、輕量、絕緣、不發塵、高耐溫。
應用：
半導體晶圓切割、面板檢測、電路板加工…。
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