AOI面板及PCB板瑕疵檢查機(二)
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商品資訊
產品定位
本設備為基於高剛性花崗岩構建之高精度二次元影像量測平台，整合線性馬達驅動與氣浮導軌技術，解決大面積面板與 PCB 在瑕疵偵測、分類與判定製程中，對於動態定位精度與長期幾何穩定性的嚴苛要求。
應用場合
1. TFT-LCD / OLED 面板微米級瑕疵（Defect）自動掃描與檢測。
2. 高密度互連板（HDI）與 IC 載板之微細線路缺陷自動判定。
3. 大尺寸基板之精密幾何尺寸量測與形位公差檢驗。
4. 半導體封裝製程中基板表面特徵之自動化光學檢視（AOI）。
5. 精密掩模版（Mask）之二次元關鍵尺寸（CD）量測。
規格
項目 規格參數 工作行程 0.75 m × 0.9 m 結構架構 精密花崗岩構架 驅動裝置 線性馬達 (Linear Motor) 導引裝置 氣浮式導軌 (Air Bearing Guide) 影像裝置 CCD + 顯微光學系統 + 雷射追焦系統 回授裝置 雷射干涉儀 (Laser Interferometer) 材質與選項
- 結構材質： 採用天然花崗岩（黑色輝綠岩），材質等級符合 DIN 876 Grade 00 或 GB/T 20428 標準；單一構件加工能力最大可達 4 公尺。
- 平面度能力： 平台基準面及運動軌跡之平面度精度最高可控於 0.015 mm (15 μm) 以內。
- 檢驗標準： 設備出廠定位精度與重複定位精度依據 ISO 230-2 標準檢測，可依需求提供第三方公正單位之量測報告。
- 配置選項： 可依據不同材料特性調整 CCD 解析度與顯微光學倍率，並提供模組化行程客製化服務，確保符合 ASME B89.3.7 之幾何精確度要求。
詢價須提供資料
請提供受測產品之圖面（CAD 檔）、關鍵檢測特徵之幾何公差要求（如符合 GB/T 1804-m 標準）、預計檢測產能需求、採購數量及交期，以便我司工程團隊進行技術評估與對應規格選配。
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