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晶圓片外觀檢查機

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    晶圓片外觀檢查機

    簡介:

    中空式XY軸線性馬達定位平台結合雷射探頭,可量測基板的厚度與翹曲,並結合影像量測裝置,進行外徑與瑕疵檢測。平台底部搭載LIFT PIN,自動頂放料件,可結合SCARA機械手臂,進行自動上下料。

    應用:

    基板厚度、翹曲、外徑量測及瑕疵檢測。

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