陶瓷氣浮導軌
商品圖像
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商品資訊
產品定位
本產品為整合多孔質陶瓷氣浮軸承之 H 型運動平台，採 XY 同平面架構設計以最小化阿貝誤差（Abbe Error），解決半導體與檢測設備在高動態下整定時間過長及摩擦干擾之技術瓶頸。
應用場合
- 半導體曝光機載台定位控制
- 晶圓 AOI（自動光學檢測）系統運動導軌
- 高精度影像量測設備支撐與位移機構
- 線性馬達精密定位平台之低摩擦引導
- 半導體封裝與後段製程精密載台
規格
項目 規格內容 依據標準 運動結構 H 型 XY 同平面架構 - 導軌材質 多孔質陶瓷（Porous Ceramic） - 驅動裝置 線性馬達（Linear Motor） - 回授裝置 高解析度光學尺 - 定位精度 依光學尺配置與補償而定 ISO 230-2 平面度 最高能力 0.015 mm DIN 876 材質與選項
- 導軌材質： 採用高剛性、高穩定性之多孔陶瓷，氣浮支撐穩定性優於傳統噴嘴式氣墊。
- 表面處理： 陶瓷表面經精密研磨，平面度精度符合 DIN 876 標準，最高可達 0.015 mm。
- 抗靜電選項： 可針對 ESD 敏感製程提供特殊陶瓷材質，其表面電阻值穩定維持於 $10^5 sim 10^9 Omega$（依據 IEC 61340-2-3 規範）。
- 客製範圍： 可依據設備空間限制設計 XY 軸行程、負載荷重及整合特定品牌之光學回授系統。
詢價須提供資料
請提供 2D/3D 加工圖面，並明確標註關鍵位置之公差要求（建議參考 GB/T 1804-m 標準）、平面度與直線度規格、預計負載量（Payload）、運動速度需求、採購數量及預計交期，以便本公司技術部門進行可行性評估並提供第三方量測報告（如適用）。
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