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長行程奈米定位平台

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    奈米級高精度定位平台

    技術簡介Introduction

    奈米級高精度定位平台運動機構主要整合氣浮式線性馬達平台、壓電補償平台,回授系統使用多自由度雷射干涉儀量測系統,利用壓電補償平台補正線性馬達定位平台移動時之幾何誤差,且多自由度雙頻雷射干涉儀定位回授量測系統,解析度高、反應快速,因此定位平台移動速度快且定位精度高。

    定位平台規格 Specifications

    X、Y軸位移行程 200mm×200mm
    驅動方式 線性馬達
    最快移動速度 150mm/s
    回授方式 雷射干涉儀
    量測解析度 0.154nm
    定位精度 50nm/200mm
    直線度誤差 50nm/200mm
    Yaw角度誤差 <0.5arcsec/120mm
    Travel 200mm×200mm
    Drive System Linear Brushless motor
    Maximum Speed 150mm/s
    Feedback Laser Interferometer
    Measuring Resolution 0.154nm
    Accuracy 50nm/200mm
    Straightness 50nm/200mm
    Yaw <0.5arcsec/120mm
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