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薄板承載盤

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    薄板承載盤

    •    高吸附力

    •    高平面度、平行度研磨

    •    孔隙率為20-25%

    •    表面粗糙度<2.0µm

    •    低電阻值抗靜電性佳多孔陶瓷

    •    厚度依客戶要求,常用0.7mm、1.0mm、2.0mm

    •    常用SiC及GaAs晶圓的承載、吸附及清洗

     

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