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晶圓切割盤

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    晶圓切割盤

    •    常用於晶圓切割、清洗使用

    •    多孔陶瓷抗電阻值:106~108歐姆

    •    表面研磨精度可達<5µm

    •    6"、8"、12"吋不鏽鋼底座晶圓切割盤

    •    高均勻性及高吸附力

     

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